Produktbild
Kopf, MarleneLangzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
Kartoniert, KIT Scientific Publishing (2022)
46,00 €
inkl. MwSt.
versandkostenfrei

Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfügiger Veranderungen der Dampfungsatmosphare in Sensorkavernen auf die Zuverlassigkeit der Sensoren immer großer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht, die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken, und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt auf Desorptionsquellen sowie Gasdiffusionspfaden im Sensoraufbau. Due to a t ...

DETAILS

Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Kopf, Marlene

Kartoniert, 220 S.

graph. Darst.

Sprache: Deutsch

210 mm

KIT Scientific Publishing (2022)

Gewicht: 420 g

ISBN-13: 978-3-7315-1121-2

Titelnr.: 95644511

Bewertungen (0)
Jetzt bewerten
Mehr von Marlene Kopf
Gesamtsumme

inkl. MwSt.

Sie haben bisher keine Artikel in deinen Warenkorb gelegt. Bitte verwenden Sie hierfür den Button 'kaufen'.