In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografi ...
DETAILS
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Dissertationsschrift
Stöffler, Dominik
Kartoniert, 113 S.
graph. Darst.
Sprache: Deutsch
24 cm
KIT Scientific Publishing (2012)
Gewicht: 270 g
ISBN-13: 978-3-86644-843-8
Titelnr.: 33738533